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Höchste Präzision in der konfokal-chromatischen Weg- und Dickenmessung


Die confocalDT Sensorreihe steht für höchste Präzision und Dynamik in der konfokal-chromatischen Messtechnik. Die Sensoren ermöglichen hochpräzise und schnelle Messungen sowohl bei Abstandsmessungen als auch bei der Dickenmessung von transparenten Objekten. Dank der innovativen Controller- und Sensor-Technologien wird eine hohe Signalstabilität auf allen Oberflächen sichergestellt. Das leistungsstarke Sensorportfolio ermöglicht die Lösung vielfältiger Messaufgaben, z.B. in der Flachglasproduktion, in Messmaschinen und im Halbleitermaschinenbau.

Modellübersicht

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Das konfokal-chromatische Messprinzip

Polychromatisches Licht (Weißlicht) wird durch eine mehrlinsige Optik auf die Messobjektoberfläche fokussiert. Die spezielle Linsenanordnung zerlegt das Weißlicht durch kontrollierte chromatische Aberration in seine monochromatischen Wellenlängen. Jeder Wellenlänge ist durch die werkseitige Kalibrierung ein bestimmter Abstandspunkt zugeordnet. Zur Messung wird diejenige Lichtwellenlänge herangezogen, die sich exakt auf dem Messobjekt fokussiert. Das von diesem Punkt reflektierte Licht wird über eine optische Anordnung auf ein lichtempfindliches Sensorelement abgebildet. Das Sensorelement erkennt die zugehörige Spektralfarbe und wertet sie aus. Für Multipeakmessungen werden entsprechend mehrere Abstandspunkte ausgewertet.

Dickenmessung bei transparenten Materialien

Ist das Messobjekt durchsichtig, so wird das Licht sowohl von der Oberfläche als auch von der darunter liegenden Fläche reflektiert. Das Spektrometer erfasst getrennt die beiden reflektierten Farben. Ist die Brechzahl des gemessenen Objektes (beispielsweise Glas) bekannt, kann der Abstand der beiden Flächen errechnet und ausgegeben werden.

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Ideal für präzise Messungen in der industriellen Applikation

Hochauflösende Messungen in der Halbleiterindustrie
Kleine Sensorbauformen zur Messung in beengten Bauräumen
Besonderheiten

  • Abstands- und Dickenmessung mit enormer Auflösung und Messrate
  • Ideal zur Automatisierung und Fertigungsüberwachung
  • Nahezu oberflächenunabhängig, auch für Spiegel und Glas
  • Extrem kleiner konstanter Messfleck zur Erfassung kleinster Details
  • Nanometergenaue Auflösung
  • Industrietaugliche Controller mit idealem Signal-Rausch-Verhältnis
  • Passives Messsystem, ideal für Applikationen im Vakuum bis UHV
  • Zuverlässige Messung bis zu 200 °C Umgebungstemperatur
Wasserzeichen-Logo von Optronic
konfokal-chromatische Sensoren von MICRO-EPSILON
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