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Innovative Weißlicht-Interferometer für Industrie und Automation
Innovative Weißlicht-Interferometer für Industrie und Automation
Die innovativen, absolut messenden Interferometer von MICRO-EPSILON setzen eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Dickenmessung. Die Sensoren ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand.
Daraus ergeben sich Vorteile für die Messung:
MICRO-EPSILON Interferometer arbeiten anders als Laser-Interferometer mit polychromen Weißlicht. Die integrierte SLED-Lichtquelle nutzt anstelle einer definierten Wellenlänge ein erweitertes Wellenlängen-Spektrum. Das von Referenz und Messobjekt reflektierte Licht wird durch den Sensor empfangen und in den Controller geleitet. Es kommt zu einer Überlagerung des reflektierten Lichts. Durch Verstärkung und Auslöschung können Abstände und Dicken detektiert werden. Somit stehen deutlich mehr Informationen für die Auswertung der Überlagerung aus empfangenen Wellenlängen zur Verfügung. Somit können sowohl diffuse als auch spiegelnde Oberflächen erfasst werden. Bei transparenten Schicht-Materialien kann neben der Wegmessung eine direkte Dickenmessung erfolgen.
